Công dụng của khí nén trong mạch tích hợp

Điều khiển khí nén và truyền động thiết bị tự động hóa

Trong dây chuyền sản xuất mạch tích hợp, các thiết bị được tự động hóa ở mức độ cao đóng vai trò cốt lõi. Khí nén như làKhông khí sạch và khô, được sử dụng rộng rãi như nguồn cung cấp năng lượng cho các thiết bị khí nén. Nó điều khiển nhiều loại van khí nén, xi-lanh khí nén và cánh tay robot, đảm bảo việc truyền tải và định vị wafer một cách chính xác ở mọi khâu. Nhờ tốc độ phản hồi nhanh và chuyển động êm ái, khí nén có thể hiệu quả bảo đảm tính ổn định của chu kỳ sản xuất cũng như hiệu suất vận hành của thiết bị.

Duy trì môi trường phòng sạch và kiểm soát ô nhiễm

Quá trình chế tạo vi mạch tích hợp cần được thực hiện trong các phòng sạch đạt tiêu chuẩn cực kỳ cao. Hệ thống khí nén giúp duy trì môi trường trong phòng sạch bằng cách cung cấp liên tục không khí đã được lọc kỹ lưỡng.Trạng thái áp suất dương nhỏMôi trường áp suất dương này có thể ngăn chặn hiệu quả sự xâm nhập của không khí và các hạt bụi chưa được lọc từ bên ngoài vào khu vực sản xuất. Ngoài ra, trong quá trình bảo trì thiết bị hoặc cải tạo cục bộ, khí nén cũng được sử dụng để thực hiện việc cô lập tạm thời và kiểm soát luồng khí, nhằm ngăn ngừa ô nhiễm chéo.

Xử lý thổi sạch và sấy khô bề mặt wafer

Sau các quy trình như rửa ướt và mài bóng hóa học‑cơ học của wafer, trên bề mặt vẫn còn tồn đọng chất lỏng hoặc các hạt nhỏ. Khí nén áp suất cao và cực kỳ sạch được sử dụng đểThổi sạch bề mặt, nhằm loại bỏ các hạt vi nhỏ bám dính. Đồng thời, trong một số quy trình sấy nhất định, khí nén kết hợp với các môi trường khác có thể đẩy nhanh quá trình bay hơi và tách bỏ nước trên bề mặt wafer, từ đó tránh hiện tượng đọng nước còn sót lại gây ảnh hưởng tiêu cực đến các bước photolithography hoặc khắc tiếp theo.

Khí dùng cho thiết bị và dụng cụ đo lường cùng với phụ trợ công nghệ

Trong nhà máy bán dẫn, rất nhiều thiết bị đo lường và thiết bị phân tích tinh vi được bố trí rải rác. Khí nén cung cấp nguồn khí ổn định cho các thiết bị này.Nguồn khí động lựcVà khí bảo vệ, đảm bảo độ chính xác của dữ liệu đo lường. Trong một số khâu hỗ trợ công nghệ không mang tính then chốt, chẳng hạn như làm mát bên trong thiết bị, vận hành các dụng cụ khí nén cũng như quá trình thổi sạch và thử áp lực của hệ thống đường ống, khí nén cũng đóng vai trò không thể thay thế.

Tiêu chuẩn chất lượng của khí nén

Do mạch tích hợp vô cùng nhạy cảm với các hạt bụi và hơi ẩm, khí nén sử dụng trong dây chuyền sản xuất phải đáp ứng những tiêu chuẩn chất lượng nghiêm ngặt. Thông thường, cần trang bị hệ thống lọc đa cấp để loại bỏ dầu, hơi ẩm và các hạt có kích thước cỡ micromet khỏi không khí. Không khí của…Điểm sương áp suấtPhải được kiểm soát ở mức cực thấp để ngăn ngừa hiện tượng ngưng tụ hơi nước bên trong đường ống hoặc thiết bị. Công nghệ nén không dầu và các thiết bị sấy hiệu suất cao là những trang bị cơ bản bảo đảm an toàn cho quá trình sản xuất mạch tích hợp.