Trong chuỗi sản xuất của công ty Việt Mô Semiconductor, bộ phận nào cần sử dụng máy nén khí không dầu?

Yêu cầu về chất lượng không khí trong lĩnh vực bán dẫn và đóng gói tiên tiến

Trong các dự án chế tạo bán dẫn hiện đại và đóng gói tiên tiến, độ sạch của môi trường sản xuất cùng với độ tinh khiết của khí nén là những yếu tố then chốt quyết định tỷ lệ sản phẩm đạt chất lượng. Lấy dây chuyền đóng gói tiên tiến của Việt Mô Semiconductor làm ví dụ, ngay cả những vết dầu, hơi ẩm hay hạt bụi ở mức vi lượng cũng có thể gây ra khuyết tật trên bề mặt wafer hoặc chip, từ đó dẫn đến những thiệt hại không thể khắc phục. Do đó, khi cung cấp khí nén, hệ thống cơ sở hạ tầng nhà máy phải nghiêm túc sử dụng máy nén khí không dầu để bảo đảm nguồn khí đạt tiêu chuẩn không dầu cấp 0.

Các khâu công nghệ cốt lõi cần thiết của máy nén khí không dầu

Trong toàn bộ quy trình sản xuất của ngành bán dẫn và đóng gói tiên tiến, một số khâu then chốt sau đây đòi hỏi nguồn khí nén không dầu với tiêu chuẩn nghiêm ngặt và chặt chẽ:

• Hệ thống điều hòa không khí và hệ thống cấp gió tươi cho phòng sạch: Phòng sạch bán dẫn đòi hỏi phải duy trì áp suất dương và cấp độ sạch rất cao. Các tổ hợp xử lý gió tươi và các đơn vị lọc gió quạt trong quá trình vận hành cần nguồn khí ổn định; nếu không khí nén chứa dầu, sẽ trực tiếp làm ô nhiễm bộ lọc hiệu suất cao, gây hỏng hóc môi trường phòng sạch.
• Thiết bị chính xác được điều khiển bằng linh kiện khí nénCác thiết bị cốt lõi như máy khắc quang, máy gắn linh kiện và máy hàn dây dẫn đều chứa đựng số lượng lớn van khí nén và xi-lanh khí nén chính xác. Khí nén không dầu giúp ngăn ngừa mài mòn, kẹt cứng bên trong các bộ phận khí nén hoặc sự lão hóa của các chi tiết làm kín, từ đó bảo đảm độ chính xác và tính ổn định cực cao trong hoạt động của thiết bị.
• Hệ thống vận chuyển và khuấy trộn hóa chấtTrong quá trình xử lý và đóng gói wafer, cần sử dụng một lượng lớn các hóa chất có độ tinh khiết cao. Khi dùng khí nén để vận chuyển hoặc khuấy trộn hóa chất, nếu nguồn khí chứa dầu sẽ làm cho hóa chất bị nhiễm bẩn, từ đó ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu quả của các quy trình khắc, rửa hoặc mạ điện.
• Giai đoạn đóng gói và kiểm tra, phân loại tiên tiếnTrong các công nghệ tiên tiến như chip lật và đóng gói cấp wafer, thiết bị vận chuyển vật liệu và thiết bị kiểm tra – phân loại phụ thuộc rất nhiều vào đầu hút khí nén và tay robot. Khí nén không dầu giúp ngăn ngừa dầu mỡ bám trên bề mặt chip, bảo đảm tiếp xúc tốt giữa đầu dò thử nghiệm và duy trì bề mặt đóng gói sạch sẽ.

Vai trò then chốt của máy nén khí không dầu trong hệ thống nhà máy

Việc áp dụng máy nén khí không dầu không chỉ là một lựa chọn mang tính bị động nhằm đáp ứng yêu cầu của quy trình sản xuất, mà còn là một chiến lược chủ động giúp nâng cao an toàn sản xuất tổng thể. Bằng cách ngăn chặn ô nhiễm dầu ngay từ nguồn, doanh nghiệp có thể giảm đáng kể tần suất bảo trì và chi phí thay thế các bộ lọc ở giai đoạn sau. Đồng thời, nguồn khí sạch không dầu cấp độ 0 loại bỏ nguy cơ tích tụ hỗn hợp dầu–khí trong đường ống, vốn có thể gây cháy nổ, qua đó cung cấp cho các dây chuyền sản xuất chất bán dẫn giá trị cao một giải pháp đảm bảo hạ tầng nhà xưởng đáng tin cậy hơn.

Khuyến nghị về lựa chọn và cấu hình hệ thống quản lý nhà máy

Trước tính chất đặc thù của các dự án ngành bán dẫn, khi lựa chọn máy nén khí không dầu cho hệ thống nhà máy, cần chú trọng đến chất lượng khí xả, độ ổn định vận hành và hiệu suất tiết kiệm năng lượng của máy nén. Khuyến nghị sử dụng thiết bị kết hợp giữa nén đa cấp và công nghệ làm mát hiệu quả, đồng thời trang bị hệ thống sấy khô và xử lý sau hoàn chỉnh, nhằm bảo đảm rằng điểm sương, áp suất và độ sạch của khí nén cuối cùng cung cấp đến các điểm tiêu thụ đều đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt của ngành bán dẫn.