Yêu cầu đối với hệ thống nén khí không dầu sử dụng trong nhà máy bán dẫn
Quá trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi mức độ sạch của khí nén rất cao; các hạt chứa dầu có thể gây ô nhiễm cho dây chuyền sản xuất wafer. Máy nén khí trục vít không dầu, nhờ thiết kế bôi trơn hoàn toàn không dầu, đã trở thành thiết bị cung cấp khí chủ lực trong các phân xưởng sạch. Tại khu vực Nam Thông, loại thiết bị này cần tuân thủ nghiêm ngặt tiêu chuẩn ISO 8573-1 Class 0, bảo đảm lượng dầu trong khí đầu ra bằng không.
Khâu then chốt trong công tác hiệu chỉnh máy nén khí
- Hiệu chuẩn các thông số áp suất/nhiệt độ của hệ thống khí và hệ thống làm mát
- Phát hiện pha bánh răng đồng bộ của máy chủ và khe hở giữa các rôto
- Xác minh logic điều khiển liên động giữa máy sấy, bộ lọc và máy nén khí
- Kiểm tra tỷ lệ rò rỉ của đường ống sạch (≤0.1% /giờ)
Các sự cố thường gặp và những điểm cần chú ý khi sửa chữa
Trong quá trình vận hành, nếu phát hiện nhiệt độ khí xả tăng cao bất thường, áp suất dao động lớn hoặc điểm sương vượt ngưỡng cho phép, cần tập trung kiểm tra các nguyên nhân sau: tắc lọc khí đầu vào, hiệu suất quạt làm mát suy giảm, mòn ổ đỡ chính xác và sự dịch chuyển của cảm biến trong hệ thống điều khiển. Công tác bảo dưỡng, sửa chữa phải được thực hiện trong môi trường sạch; tất cả các chi tiết làm kín và lõi lọc phải đáp ứng yêu cầu về cấp độ sạch nhằm tránh ô nhiễm thứ cấp.
Hỗ trợ dịch vụ bản địa hóa
Khu vực Nam Thông và các vùng lân cận có mật độ phân bố cao các dây chuyền sản xuất bán dẫn, do đó năng lực hiệu chỉnh và bảo trì tại hiện trường với khả năng phản ứng nhanh đóng vai trò hết sức quan trọng. Khuyến nghị thiết lập một cơ chế giám sát trạng thái định kỳ, kết hợp phân tích xu hướng của các dữ liệu rung động, nhiệt độ và dòng điện nhằm kịp thời nhận diện các nguy cơ hỏng hóc tiềm ẩn, qua đó đảm bảo tính liên tục và ổn định của nguồn cung khí cho dây chuyền sản xuất.